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產(chǎn)品中心

    • 電阻率量測儀

    WRS系列為非接觸式電阻率量測設(shè)備，適配多種晶圓尺寸，有多種量測功能。自動讀取Wafer ID，采用非接觸高精度渦電流傳感器測量體積電阻率，識別PN Type。

    需求咨詢

  • 各種尺寸晶圓量測

  • 自動量測

  • Excel、CSV報表輸出

  • 讀取Wafer ID

  • 測量體積電阻率

  • 識別PN Type

    • 設(shè)備規(guī)格

    **設(shè)備規(guī)格可配合客戶需求訂制，歡迎來電洽詢。**

    專門應(yīng)用


    · 硅片

    · 碳化硅

    · 玻璃

    · 薄膜


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